Faktori Semiconductor mande ultra - egzak, korozyon - Chanèl rezistan:
Dimansyon presizyon:
316L chanèl asye pur (ASTM A276) ak tolerans sere (± 0.1mm) kenbe clearance 0.5mm pou manto wafer, kritik pou pwodiksyon chip 5nm. TSMC Taiwan a sèvi ak U - chanèl ak 80 × 40 × 5mm dimansyon yo anpeche pyèj patikil.
Rezistans chimik:
Chanèl ki gen 2.5% kontni molibdèn reziste idrofluoric asid (HF) ekspoze, dirab 1, 000+ Netwayaj sik san yo pa opoze. Samsung Kore di Sid la anplwaye sa yo nan 300mm pen wafer yo, diminye ranplasman ekipman pa 70%.
Fini sifas:
Electro - Chanèl poli (RA mwens pase oswa egal a 0.02μm) minimize adezyon patikil, satisfè semi F20 klas 1 estanda. Tokyo elèktron Japon an espesifye JIS G4305 SUS316 chanèl pou kondisyon kritik sa a.
Adopsyon rejyonal:
Plant semi -conducteurs ameriken yo itilize ASTM A479 chanèl ak 6mm epesè minimòm, pandan y ap SMIC Lachin nan pwefere GB/T 1220 06 CR17NI12MO2 chanèl pou pri - sansib 28nm pwosesis.